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이재용(왼쪽 두 번째) 삼성전자 부회장이 지난해 10월 반도체 초미세 공정에 필수적인 극자외선(EUV) 장비를 생산하는 ASML을 방문해 공정을 둘러보고 있다./사진 제공=삼성전자