이솔이 개발한 에밀레 장비. /사진제공=이솔

이솔의 에밀레 장비 기술 원리(왼쪽)와 회사가 구현한 패턴 모양. /사진제공=이솔

김병국 이솔 대표(왼쪽)와 이동근 이솔 부사장이 회사가 자체적으로 개발한 EUV 광원을 연구하고 있다./사진제공=이솔