반도체 필수 ‘초순수’도 국산화 물꼬…SK실트론에 현장 공급

日·美에 의존해온 공업용 초순수 생산 핵심 공정 국산화 성공…SK에 실제 공급 국산화에 성공한 초순수 생산 설비 중 이혼교환수지 전경. 사진=기후부 기후에너지환경부가 국내 기술로 생산한 공업용 초순수를 SK실트론 구미 사업장에 공급할 예정이라고 밝혔다. 그동안 일본·미국 등에 의존해 온 초순수 분야에서 기술 자립의 길이 열렸다는 평가가 나온다. 기후부는 19일 경북 구미 SK실트론 사업장에서 ‘고순도 공업용수 생산 국산화 기술개발 사업’ 성과물인 ‘초순수 실증설비’의 기술 이전을 위한 성과 활용 협약식을 개최했다고 밝혔다. 설계·시공·운영 전 과정에 국내 기술이 적용된 실증 설비를 SK실트론 구미 사업장에 설치해 초순수를 공급하는 것이 핵심이다. SK실트론은 이렇게 공급받은 초순수를 웨이퍼 생산 공정에 투입할 예정이다. 초순수는 물속의 이온물질농도를 1ppt(1조분의 1) 이하, 용존산소 등 기체 농도를 1ppb(10억분의 1) 이하로 관리한 순수한 물이다. 반도체·디스플레이·이차전지 등 첨단 산업에서 표면의 오염물질을 제거하는 데 필수적으로 사용된다. 국내 수요가 상당함에도 그동안 초순수 플랜트 설계·시공·운영은 해외 기업에 의존해 왔다. 이에 기후부는 2021년부터 초순수 생산기술을 국산화하기 위한 사업을 추진해 △유기물을 제거하는 자외선 산화장치 △용존산소 제거 탈기막 △이온 교환 수지 등 초순수 제조 핵심 공정 모두를 국내 기업이 개발하는데 성공했다. 기후부 관계자는 “이번 기술 이전은 초순수 생산 기술의 국산화를 넘어 실제 산업현장에 적용으로 이어졌다는 점이 의미가 있다”라며 “반도체 등 첨단산업에서 대규모 투자가 이어지면 초순수 등 국내 물 산업도 발전하게 될 것”이라고 말했다.