"기술 우위 유지" …TSMC, ASML 차세대 EUV장비 샀다

인텔 이어 파운드리 업체론 처음

대당 5220억원…연말까지 인도

가오슝서 내년부터 N2P제품 생산

대만 TSMC. 연합뉴스

세계 최대 파운드리(반도체 위탁 생산) 업체인 대만 TSMC가 네덜란드 극자외선(EUV) 노광장비 생산 업체인 ASML가 생산한 3억 5000만 유로(약 5220억 원) 상당의 차세대 EUV 장비를 구매한 것으로 전해졌다.

7일 연합보 등 대만 언론은 정통한 소식통을 인용해 TSMC가 최첨단 공정을 통한 반도체 생산을 위해 관련 장비 구매에 나섰다며 이같이 보도했다.



해당 소식통은 로저 다센 ASML 최고재무책임자(CFO)가 최근 콘퍼런스콜에서 TSMC와 인텔이 올해 말까지 차세대 EUV 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA) EUV’를 인도하기로 했다고 밝혔다. 대만 언론은 TSMC가 남부 가오슝 지역 2㎚(나노미터·10억분의 1m) 공장에서 ‘하이 NA EUV’ 장비를 이용해 2025년부터 후면전력공급이 가능한 N2P 제품을 생산할 예정이라고 전했다. 앞서 4월에는 인텔이 미국 오리건주 연구개발(R&D) 센터에 차세대 EUV 장비를 설치했다고 밝혔다.

TSMC는 파운드리 업체 중 처음으로 ‘하이 NA EUV’ 장비를 도입한 것으로 파악된다. 이 장비는 반도체 회로를 더 정밀하게 그릴 수 있는 ASML의 차세대 장비로 인공지능(AI) 응용 프로그램과 첨단 소비재 전자제품용 칩 제조에 쓰인다.

한편 장샤오창 TSMC 비즈니스 개발 선임부사장은 지난달 네덜란드 암스테르담에서 차세대 EUV 장비의 높은 가격에 대해 강한 우려를 드러내기도 했다. 그는 “A16 공정을 위해 ASML의 새로운 차세대 노광장비(하이 NA EUV)를 사용할 필요는 없을 것 같다”고 언급해 당시만 해도 기존 EUV 장비를 사용할 의사를 내비친 것으로 해석됐다. 하지만 갈수록 치열해지는 기술 경쟁에서 우위를 유지하기 위해 대규모 투자를 감행한 것으로 보인다.