[서울경제TV=김혜영기자]국일제지(078130)(078130)는 자회사 국일그래핀이 그래핀 제조설비를 추가했다.
국일그래핀은 기존 12인치 다중 챔버와 R2R 설비 외 세계 최초의 12인치 원 챔버(Single Chamber) 그래핀 제조설비를 추가 제작해 성남피엠센터(PM, Pilot Manufacturing)에 설치했다고 11일 밝혔다.
이번 입고된 제조설비는 기존 다중 챔버(Multiple chamber) 외 하나의 챔버(Single Chamber)에서 티타늄(Ti) 버퍼층을 올리고 매체 이동 없이 탄소 분해를 통한 직성장으로 그래핀 박막을 증착한다.
국일제지는 이번 제조설비 도입으로 여러 종류의 매체에 적용할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 기존 12인치 Batch식 제조설비는 12인치 이하 다양한 사이즈 제작이 가능하고 다중챔버를 활용해 단단한(리지드; Rigid) 평면 그래핀 제조를 목표로 설계된 장치다. 이번에 추가로 제작된 제조설비는 하나의 챔버로 티타늄 버퍼층의 산화 안정성을 높여 매체 적용이 증대될 것이라고 회사측은 설명했다.
회사 관계자는 “자사가 보유한 독보적 기술과 노하우를 통해 제품의 수정, 보완, 테스트 등은 지속적으로 진행중”이라며 “기술장벽이 매우 높은 CVD 박막 그래핀의 특징만큼 제품의 표준화 작업, 안정화 단계 등에 자사도 많은 공을 들이고 있다”고 말했다./hyk@seadaily.com
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