주성엔지니어링 美AKT와 특허싸움

"PECVD 장비 기술 침해"

주성엔지니어링이 세계 최대 반도체ㆍ액정표시장치(LCD) 장비업체를 상대로 특허 싸움에 나섰다.

주성엔지니어링은 6일 미국 어플라이드머티리얼의 자회사인 AKT의 7세대용 PECVD 장치가 자사의 특허를 침해했다며 AKT의 PECVD 장비에 대한 불공정 무역행위를 조사해줄 것을 국내 관계기관에 신청했다고 공시했다.

주성측은 AKT 7세대용 PECVD 장치는 유리기판이 커지면서 발생하는 문제점을 해결하기 위한 주성의 특허기술을 침해한 장치일 가능성이 매우 높다고 밝혔다. 또 이후 특허침해가 관계기관의 조사를 거쳐 사실로 판명될 경우 AKT 장비에 대한 수입금지 및 후속조치로 연결될 것으로 기대했다.

주성의 한 관계자는 “AKT와 문제해결을 위해 접촉을 시도했지만 여의치 않아 관계기관에 조사를 요청하게 됐다”며 “특허 침해로 판정 날 경우 LCD 장치의 세계시장 판도가 바뀔 것”이라고 밝혔다.

PECVD 장비의 올해 전세계 시장규모는 약 10억달러 규모로 추산되며 주성은 올해 이 시장에서 15%의 점유율을 목표로 잡고 있다.