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하나마이크론 자회사 하나실리콘이 510㎜ 단결정 실리콘 잉곳 개발에 성공하고 향후 양산을 위해 설비를 추가로 도입할 계획이라고 6일 밝혔다. 이는 지난 1월 480㎜에 이어 또 국내 최대 크기의 실리콘 잉곳을 최초로 만들어낸 것이다. 실리콘 잉곳이란 폴리실리콘을 고순도로 변환해 성장시킨 반도체용 웨이퍼의 원재료로, 하나실리콘은 이를 정밀가공해 반도체 건식 식각장비의 필수 부품인 캐소드(Cathode)와 링(Ring)을 생산해 일본 도쿄일렉트론(TEL) 등 국내외 유수 반도체 소자 및 장비업체에 공급 하고 있다. 또 이번 510㎜ 잉곳 개발 성공으로 하나실리콘은 조만간 도래할 18인치(450㎜) 반도체 웨이퍼 시대에 필요한 기술을 선점하는 효과를 거둔 것으로 평가된다. 아울러 잉곳 생산설비를 추가로 도입해 480㎜ 잉곳 개발로 확보한 18인치 웨이퍼 시장 교두보를 더욱 확고히할 것으로 보인다. 하나실리콘 관계자는 "11월말 설비가 추가로 도입돼 내년부터 본격 가동되면 잉곳 자급률이 현재 30%에서 60%대로 높아진다"며 "생산단가 및 외부구매비용 축소로 수익성이 개선될 것"이라고 자신했다.
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