한양대, 스마트반도체연구원서 첨단 반도체 연구…삼성전자·SK하이닉스도 ‘지원사격’

지난 20일 한양대 정몽구 미래자동차연구센터에서 열린 한양대 스마트반도체연구원 개원식 참석자들이 기념촬영을 하고 있다. 사진제공=한양대 스마트반도체연구원

한양대학교가 스마트반도체연구원(HY-ISS)을 열고 차세대 반도체 기술 개발과 인력 양성 인프라를 확대한다. 삼성전자, SK하이닉스, ASML 등 글로벌 반도체 회사들이 연구원 발전을 위해 힘쓰기로 했다.

지난 20일 한양대는 정몽구 미래자동차연구센터 컨퍼런스홀에서 HY-ISS 개원식을 열었다. 새로운 연구원은 △극자외선(EUV) 노광기술 연구센터 △첨단 반도체 패키징 연구센터 △원자수준 공정·플라즈마 연구센터 △차세대 반도체 물성 및 소자 연구센터로 구성돼 있다. 연구원은 신소재공학관과 학생회관에 약 270평 규모 반도체 설비를 마련했다. 전(前)공정 실험을 위한 클린룸에는 증착, 노광 장비 40여대를 배치했고, 패키징 센터에는 칩 테스트를 위한 설계자동화(EDA) 툴 프로그램, 열충격기 등의 실험 설비를 들였다. 50여명의 교수진과 연구원, 대학원생이 이곳에서 기술 개발을 진행한다.

반도체 업체들의 적극적인 지원도 있을 예정이다. 이날 행사에는 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 최대 반도체 기업과 어플라이드 머티어리얼즈, ASML, 램리서치, 도쿄일렉트론(TEL) 등 해외 장비사, 세메스, 원익IPS, 테스 등 국내 반도체 장비·부품 업체 고위 관계자들이 참석해 연구원 발전을 위해 힘을 보태기로 했다.



특히 ASML 네덜란드 본사에서 기술 연구개발을 책임지는 조스 벤숍 수석부사장이 행사장을 직접 찾아 HY-ISS 출범을 축하했다. 그는 ASML EUV 기술과 반도체의 미래에 대한 특강도 펼쳤다.

초대 연구원장을 맡은 안진호 한양대 신소재공학과 교수는 "반도체 연구와 교육을 동시에 할 수 있는 첨단 인프라 투자에 앞장서 나갈 것"이라고 밝혔다.