도쿄일렉트론, 한양대에 연구센터 설립…韓 학계와 반도체 R&D 협업

도쿄일렉트론과 한양대학교 주요 관계자들이 5월 30일 서울 성동구 한양대에서 열린 HTRC 개소식에서 기념촬영하고 있다. 사진제공=도쿄일렉트론코리아

일본 반도체 장비회사 도쿄일렉트론(TEL)의 자회사인 도쿄일렉트론테크놀로지솔루션즈가 한양대와의 공동 연구를 활성화하기 위한 ‘HTRC(Hanyang University TEL Research Center)를 설립했다고 2일 밝혔다.

TEL과 한양대는 지난달 30일 서울 성동구 한양대에서 HTRC 개소식을 열었다. 이 행사에는 원제형 도쿄일렉트론코리아 회장, 하세베 가즈히데 도쿄일렉트론테크놀러지솔루션스 테크놀로지 오피서, 안진호 한양대 연구부총장, 전형탁 교수 등이 참석했다.



한양대 내에 설치된 HTRC는 TEL이 국내 대학에 설치하는 최초의 연구개발(R&D) 센터다. 두 기관이 수년 간에 걸쳐 진행한 반도체 디바이스용 성막 요소 기술에 관한 공동 연구가 이곳에서 더욱 활발하게 이어질 예정이다.

또한 향후 공동 연구에 크게 기여한 학생에게는 표창을 수여하면서 차세대 기술자를 육성하겠다는 계획도 있다.

TEL 측은 “향후 한양대와 지식을 교류하면서 새로운 요소 기술을 창출할 예정”이라고 말했다.