한국기계연구원은 21일 플라즈마연구실 송영훈 박사팀이 개발한 플라즈마 전처리장치를 기술이전받은 엘오티베큠이 이를 상용화해 삼성전자 반도체 생산 라인에 현재까지 100대 이상 설치했다고 밝혔다.
기존의 반도체 공정 배기라인에서는 진공펌프 전단에 전기로 열을 발생하는 전기히터를 통해 처리해 왔는데 이 방식은 에너지 소모가 많고 공정부산물 축적에 따른 진공펌프의 수명 저하가 문제로 지적돼왔다.
이번에 개발된 장치는 플라즈마를 활용해 반도체공정에서의 배기가스 분해처리를 진공펌프 전단에서 가능케 하는 기술로, 2차 오염물질이 발생되지 않으면서도 진공펌프 수명을 획기적으로 연장할 수 있다.
실제 이 기술을 지난 2년간 양산공정에 적용한 결과, 해당 문제점을 거의 완벽히 해결하는 결과를 얻었다. 또 반도체 공정에서 배출되는 지구온난화가스 과불화 화합물을 기존 공정대비 10% 수준의 운전비용으로 처리할 수 있다.
송영훈 박사는 “환경 경제적 측면에서 성능이 획기적으로 개선된 것이 검증돼 삼성전자에서 이례적으로 생산라인에 적용하게 된 것”이라며 “향후 온실가스에 대한 규제 강화로 인해 시장 규모가 5,000억원대로 확대될 것으로 예상되고 있어 국산화 및 수출을 통한 국익창출의 토대를 마련할 것”이라고 말했다.
오티베큠은 플라즈마 설비를 판매를 통해 연말까지 80억원의 매출을 전망하고 있으며, 내년에는 최소 두 배 이상의 매출액 신장을 기대하고 있다.
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