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반도체의 날 기념행사서 이용한(57) 원익쿼츠 회장이 세계 최초로 ALD 장비를 개발하고 CVD 장비를 국산화하는 등 반도체 증착장비 분야의 국제경쟁력 강화에 기여한 공로로 반도체의날(29일)을 하루 앞둔 28일 은탑산업훈장을 받았다. 또 한인수(51) 참엔지니어링 대표는 세계 최초로 플라즈마 식각기술(Plasma Bevel Etch)을 개발하고 식각장비를 국산화한 공로로 석탑산업훈장을 받았다. 한국반도체산업협회는 28일 오후 서울 여의도 63빌딩에서 최중경 지식경제부 장관을 비롯한 산학연 관계자 600여명이 참석한 가운데 제4회 반도체의날과 협회 창립 20주년 기념행사를 열어 훈ㆍ포장(3명), 대통령ㆍ국무총리ㆍ지경부장관ㆍ특허청장 표창(32명), 반도체협회장상(20명)을 시상했다. 한재원(47) 동부하이텍 상무는 세계 최초로 알루미늄ㆍ구리 배선을 반도체소자와 혼용 생산할 수 있는 기술을 개발해 산업포장을 받았다. 러시아ㆍ터키ㆍ중동 등 신흥시장을 개척해 수출경쟁력을 강화한 최춘엽(50) 하이닉스 상무, 수입에 의존하던 장비(Immersion Track) 개발을 통해 핵심기술 자립에 노력한 고재승(47) 세메스 수석은 대통령표창을 받았다. 이부섭(74) 동진쎄미켐 회장은 반도체용 감광액을 세계 네번째, 국내에서는 처음으로 개발하는 등 반도체 재료 국산화를 선도한 공로로 ‘자랑스러운 반도체인 특별공로상’을 받았다. 이 회장의 핸드프린팅은 반도체역사관 건립시 ‘명예의 전당’에 헌액될 예정이다. 이 회장은 지난 2006년 산업기술진흥 유공자로 금탑산업훈장을 받은 바 있다. 최중경 장관은 축사에서 “메모리반도체만으로 기업은 1등이 될 수 있지만 우리 반도체산업이 1등이 되기는 어렵다”면서 “반도체산업 세계시장 석권을 위해 소자ㆍ팹리스ㆍ파운드리ㆍ장비ㆍ재료 업체가 함께하는 공생발전형 산업생태계 조성이 필요하다”고 강조했다. 권오철 협회장은 환영사에서 “메모리반도체의 끊임없는 기술 개발과 시스템반도체 및 장비ㆍ재료ㆍ부분품 분야의 체계적 육성을 통해 반도체가 미래에도 우리 경제를 선도하는 핵심산업으로 지속적으로 발전해나갈 수 있도록 반도체인의 열정과 노력을 쏟아달라”고 당부했다. 한편 33개 반도체업체는 산업의 미래를 책임질 우수 이공계 학생 40명에게 장학금을 전달했다. 올해에는 소자ㆍ장비ㆍ재료분과 대기업뿐만 아니라 I&C테크놀로지ㆍ카이로넷 등 설계 분야 유망기업, 한국베리안 등 외국계 장비업체들도 참여했다. 반도체의날은 1994년 10월29일 반도체 수출 100억달러 돌파를 기념해 2008년 제정됐다.
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