플라즈마 기술은 반도체, 디스플레이 공정 및 의료 바이오, 환경, 농식품 분야 등 다양한 분야에서 기존 기술 및 산업과의 융합을 통해 새로운 시장 창출 및 산업의 고부가가치화를 촉진할 수 있는 핵심 기반 기술이다.
플라즈마 융복합기술은 기존의 산업적 응용성을 중심으로 하는 플라즈마 기술과 달리 플라즈마물성연구를 기반으로 원천성이 강한 기술을 개발, 산업 현장의 기술 한계를 해결할 수 있다는 점에서 우수성을 인정받았다.
대표적 성과로는 세계 4번째로 전도냉각형 초전도 ECR 이온원을 개발, 의료·산업 장치에 활용 가능한 고전하 중이온 빔 인출 성공과 플라즈마와 물질의 상호작용 분석 데이터를 이용해 산업 현장에서 즉시 응용할 수 있는 플라즈마 해석기술 개발 등이다.
또한 핵융합연은 국내 중소기업에 플라즈마 해석기술을 이전해 기존 외국산 소프트웨어 대비 획기적 성능을 구현하는 반도체 공정해석용 소프트웨어를 개발하고, 국내 기업의 반도체 공정해석 소프트웨어 시장 진출을 도운 공로를 인정받아 ‘기술이전 우수기관’으로 선정됐다.
플라즈마 기술을 이전받은 경원테크는 반도체 식각 및 증착 공정을 시뮬레이션하는 소프트웨어를 개발, 현재 누적 매출액이 12억원이 넘는 등 외국 업체에 의존하고 있는 소프트웨어의 국산화 추진에 앞장서고 있다.
김기만 핵융합연 소장은 “다양한 산업 분야에서 플라즈마 기술에 대한 수요가 높아지면서, 정확한 데이터에 기반 한 플라즈마 융복합 기술이 중요해지고 있다”며 “플라즈마기술연구센터에서 개발한 플라즈마 원천 및 융복합 기술을 산업에 적용하여 기존 기술의 가치를 높일 수 있도록 지속적으로 노력하겠다”고 밝혔다.
대덕=구본혁기자 nbgkoo@sedaily.com
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