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SK하이닉스, 가우스랩스와 반도체 AI 계측기술 성과 발표

가우스랩스 AI 계측 기술

반도체 생산공정에 적용

가상 계측 통해 생산성 높여

김영한 가우스랩스 대표(가운데)가 가우스랩스 구성원들과 함께 기념사진을 촬영하고 있다. 사진제공=SK하이닉스




SK하이닉스(000660)와 가우스랩스는 미국 캘리포니아주 새너제이에서 열린 국제학회 'SPIE AL 2024'에 참가해 인공지능(AI) 기반 반도체 계측 기술 개발 성과를 발표했다고 29일 밝혔다. 가우스랩스는 SK하이닉스의 산업용 AI 자회사다.

SK하이닉스는 이번에 두 회사의 개발 성과가 담긴 논문 2편을 발표했다. 양 사는 그간 반도체 수율과 생산성을 높이기 위해 그동안 가우스랩스와 다양한 영역에서 협업해왔다.

SK하이닉스는 2022년 12월부터 가우스랩스의 솔루션 파놉테스 VM을 반도체 공정에 도입해 현재까지 5000만 장 이상의 웨이퍼에 가상 계측을 진행했다. 이를 시간으로 환산하면 초당 1개 이상의 웨이퍼를 가상 계측한 것으로 볼 수 있다. SK하이닉스는 이 소프트웨어를 통해 공정 산포(제품의 품질 변동 크기)를 29% 개선했다.



이번 학회에서 가우스랩스는 AI 기반 가상 계측 솔루션 '파놉테스 VM'의 예측 정확도를 높이는 알고리즘인 '통합 적응형 온라인 모델'을 소개했다. 가우스랩스가 새로 공개한 알고리즘은 기존 적응형 온라인 모델을 업그레이드한 버전으로, 데이터 부족 문제를 해결하는 동시에 예측 정확도를 높였다. ‘범용 노이즈 제거 기술’도 선보였다. SK하이닉스와 테스트를 진행한 결과 이 알고리즘을 적용하면 이미지 획득 시간이 4분의 1로 줄어들어 반도체 계측 장비 생산성을 42% 높여주는 것으로 나타났다.

김영한 가우스랩스 대표는 "앞으로도 AI 기반의 다양한 솔루션 제품을 지속 출시해 제조 현장의 인공지능화를 선도할 것"이라고 말했다.
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