덕성, 12인치 반도체 웨이퍼 상용화

덕성, 12인치 반도체 웨이퍼 상용화초전도 응용제품 내년 국내 첫 출시

12인치 반도체 웨이퍼가 국내에서 처음 상용화된다.

정밀화학제품 제조업체인 ㈜덕성(대표 이해성·李海成)은 25일 국내 처음으로 차세대 반도체 필수원재료인 「12인치 실리콘 웨이퍼」 생산장비 개발을 본격 추진중이라고 밝혔다.

12인치 웨이퍼는 현재 미국, 일본, 영국에서 기술력을 보유하고 있으며 우리나라에서는 지금까지 상전도에서 8인치를 생산할 뿐 초전도를 이용한 12인치 기술력은 보유하고 있지 않다.

이해성사장은 『초전도(MRI)를 응용한 12인치 반도체 웨이퍼 제조장비를 내년에 상용화 할 것』이라고 밝히고 『12인치는 8인치에 비해 제조원가 차이는 별로 없지만 생산성은 2.5배에 달해 향후 반도체제조를 위해 필수적을 개발해야 하는 장비』라고 설명했다.

이 회사는 최근 산업자원부에서 추진하는 부품·소재기술개발 과제에 초전도를 응용한 12인치반도체웨이퍼 개발과제를 부여받고 40억원의 정부 지원금과 현대기술투자 등으로 부터 12억원의 개발자금을 유치, 3년내 상용화 된 12인치 반도체웨이퍼를 본격 생산할 계획이다.

초전도기술은 고순도마그네트에 수많은 코일을 감아 외부에서 자장을 일으켜 밀도가 균일한 양질의 웨이퍼를 만들어 내는 최첨단기술로 21세기 산업혁명으로 불릴 만큼 전 세계적으로 개발경쟁이 뜨겁다.

덕성은 이미 초전도기술을 보유하고 있으며 초전도마그네트를 이용한 초전도반도체장비개발을 이미 70%정도를 완료한 상태다.

8인치 웨이퍼는 불량률이 많고 256메가급까지만 사용할뿐 1기가급부터는 초전도를 응용한 12인치 웨이퍼를 사용해야 품질 안정과 경제성이 있다는 것.

덕성은 또 LCD용 케미칼 재료제조분야에도 진출, 시설투자가 마무리단계에 있으며 올 연말부터 출시할 예정이다. 또한 일본의 유니텍스사와 합작으로 진출한 급속 발효기사업도 순조롭게 진행하고 있는 등 첨단업종진출을 본격화 하고 있다.

김인완기자[e-mail]

입력시간 2000/08/25 17:44

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