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주성엔지니어링, 기판 얼라이너 등 중국특허 취득

주성엔지니어링은 유지보수가 간편한 기판 얼라이너 등에 대한 중국특허를 취득했다고 26일 공시했다. 이번 특허는 유지보수 시간을 단축시킨 기판 얼라이너에 관한 특허로 반도체, 솔라셀ㅁ(Solar Cell), FPD 장비사업의 경쟁력 강화에 활용될 전망이다. 주성엔지니어링은 또 트랜지스터 및 그 제조 방법에 관한 중국특허도 취득했다고 밝혔다. 트랜지스터 특허는 캐리어 이동도를 향상시킨 트랜지스터 및 그 제조 방법에 관한 특허로, 반도체 장비사업의 경쟁력 강화에 활용될 것이라고 회사측은 설명했다.

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