저스템, 국내 선두 반도체 장비 기업서 솔루션 적용 평가

글로벌 종합반도체기업 수주 이어

국내 선두 장비 기업서 적용 평가

임영진 저스템 대표. 사진 제공=저스템

반도체 습도 제어 솔루션 기업 저스템이 자체 개발한 2세대 습도 제어 장치 ‘JFS’를 국내 선두 반도체 장비 기업에서 적용 테스트를 하고 있다고 13일 밝혔다.

JFS는 저스템이 원천 기술을 보유한 특허를 기반으로 개발한 세계 최초 기류 제어 제품으로 각종 장비에 장착하면 ‘FOUP(반도체 제조 공정 라인에서 사용하는 캐리어)’ 내부 습도를 1% 이하로 제어한다. 습도를 일정하게 낮추면 반도체 수율을 높일 수 있다. 저스템은 올 들어 JFS를 글로벌 종합반도체기업에 두 차례 납품해 기술 수준과 신뢰성을 인정받았다.



저스템이 현재 국내 반도체 장비 기업에서 진행 중인 JFS 적용 평가는 올 상반기 완료될 예정이다. 평가 결과가 긍정적으로 나와 수주로 이어지고 기존 수주처에서 추가 발주를 받으면 JFS 솔루션의 시장 진출은 한층 탄력을 받을 전망이다.

저스템 관계자는 “습도 제어를 통한 수율 제고는 제품의 완성도와 비용 절감의 주요 요소”라며 “JFS는 습도 제어 효과와 설치 간편성을 모두 갖춘 솔루션”이라고 강조했다.