도쿄일렉트론, 한양대에 연구센터 설립

韓학계와 반도체 R&D 협업 활성화

도쿄일렉트론과 한양대 관계자들이 5월 30일 서울 성동구 한양대에서 열린 HTRC 개소식에서 기념 촬영하고 있다. 사진제공=도쿄일렉트론코리아

일본 반도체 장비회사인 도쿄일렉트론(TEL)이 자회사인 도쿄일렉트론테크놀로지솔루션즈와 한양대간 공동 연구를 활성화하기 위해 한양대에 연구센터(HTRC)를 설립했다고 3일 밝혔다.

도쿄일렉트론과 한양대는 지난달 30일 서울 성동구 한양대에서 HTRC 개소식을 열었다. 원제형 도쿄일렉트론코리아 회장, 하세베 가즈히데 도쿄일렉트론테크놀러지솔루션스 기술담당관, 안진호 한양대 연구부총장, 전형탁 교수 등이 행사에 참여했다.



한양대에 설치된 HTRC는 도쿄일렉트론이 국내 대학에 설립한 최초의 R&D 센터다. 양측은 수년 간에 걸쳐 진행한 반도체장비용 성막 요소 기술에 관한 공동 연구를 HTRC에서 한층 가속화할 계획이다. 또 공동 연구에 기여한 학생에게는 표창과 함께 차세대 기술자로 육성해 나가다는 목표다. 도쿄일렉트론은 “한양대와 지식을 교류하면서 새로운 요소 기술을 창출하겠다”고 다짐했다.