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기계硏 김준동 박사팀 '나노 와이어' 이용 현미경 탐침 개발 반도체 제작공정 검사장비 활용 가능 대덕=강재윤기자 hama9806@sed.co.kr 기계연구원 김준동 박사팀이 나노 와이어를 이용해 개발한 원자현미경용 탐침. 탐침 말단부 꼭대기에 있는 것이 50㎚ 크기의 나노 와이어다. ImageView('','GisaImgNum_1','default','260'); '나노 와이어(Nanowire)'를 이용한 원자현미경용 탐침(探針)이 개발됐다. 한국기계연구원 나노융합기계연구본부 김준동 박사팀은 지름 50나노미터(㎚ㆍ1㎚는 10억분의1m) 굵기의 나노 와이어를 이용해 원자현미경용 탐침과 이를 이용해 나노 와이어 배선의 전기적 특성을 측정하는 기술을 개발했다고 밝혔다. 김 박사팀은 '탄노 나노 튜브'를 이용한 현미경 탐침과 달리 반도체 소자의 접합물질로 사용되는 '니켈-실리사이드' 소재의 나노 와이어와 이를 이용한 원자현미경용 탐침을 개발했다. 기존 탐침으로는 나노 소재에 대한 표면정보만 분석할 수 있지만 김 박사팀이 개발한 나노 와이어 현미경 탐침을 이용하면 나노 크기 물질에 대한 표면정보뿐만 아니라 전기적 특성을 알아낼 수 있다. 일반적으로 물질은 전기가 통하는 도체, 부분적으로 통하는 반도체, 통하지 않는 부도체로 구분할 수 있지만 나노 와이어를 대상으로 전기적 특성까지 분석하기는 어렵다. 그래서 김 박사팀이 개발한 탐침은 반도체 제작공정의 검사장비, 나노 소자 개발 때 물질의 특성을 알아내는 연구용 장비에 활용할 수 있다. 김 박사는 "나노 와이어를 이용해 나노 와이어 구조체에 대한 표면ㆍ전기정보를 얻은 것은 세계최초로 판단된다"고 말했다. 나노 와이어 탐침 기술의 핵심은 50㎚ 굵기의 나노 와이어를 수백㎚ 크기의 탐침 말단부에 부착하는 것. 그러려면 머리카락 굵기의 1,000분의1~1만분의1 수준의 나노 와이어를 다뤄야 한다. 김 박사팀은 액체에 혼합된 나노 와이어에 전기장(electric fieldㆍ전하로 인한 전기력이 미치는 공간)을 가해 탐침을 부착하는 기술을 개발, 이 문제를 해결했다. 이 기술은 진공상태에서 나노 단위의 탐침을 깎아내야 하는 기존 방식보다 제작이 쉬워 제작비용을 10분의1 수준으로 낮출 수 있고 일반 대기업에서도 만들 수 있다. 김 박사팀의 연구 결과는 영국에서 발행되는 나노 분야 유명 저널 '나노테크놀로지(Nanotechnology)' 최신호에도 발표됐다. 혼자 웃는 김대리~알고보니[2585+무선인터넷키]
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