삼성전자·하이닉스 '쓰촨 지진때 민감한 일부 장비 한때 오류'

중국 쓰촨(四川)성을 초토화시킨 대지진이 황해를 넘어 우리의 핵심 업종인 반도체 생산 공장에까지 영향을 줬다. 비록 큰 피해는 면했지만 중국의 지진에 우리도 마냥 안전하지는 않다는 것이 확인됐다. 19일 관련업계에 따르면 쓰촨 대지진이 발생한 지난 12일 삼성전자와 하이닉스반도체의 반도체 생산라인 가운데 일부 장비에 오류가 나면서 동작을 멈췄다. 이날 오류가 났던 장비들은 주로 스캐너로 포토마스크상의 회로를 웨이퍼에 새기는 역할을 한다. 이 장비들은 극미세 공정을 담당해 외부진동 등의 영향으로 조금의 오차만 발생해도 즉시 동작을 멈추도록 설계돼 있다. 국내에서는 전혀 감지하지 못할 것으로 보였던 중국 지진의 여파가 반도체 공장의 생산장비에 의해 전해진 것이다. 삼성전자의 한 관계자는 놀라움을 표시하면서도 “오류가 났던 장비들이 즉시 재가동돼 생산에는 전혀 지장이 없었다”고 안도의 한숨을 내쉬었다. 업계의 한 관계자는 “바다 건너 우리 반도체 공장에 오류를 일으킬 정도였다면 본토인 중국과 대만 등 반도체 업체들의 생산공정에도 어느 정도 영향을 미쳤을 것”이라며 “반도체 공정뿐 아니라 여타 업종들에도 미세하나마 영향을 줬을 가능성을 배제할 수 없다”고 전했다.