국내개발 반도체 측정기술 세계표준안 제시/삼성전자·표준과학연

국내자체기술로 개발된 반도체 측정기술이 세계표준안으로 제시된다.삼성전자(대표 윤종룡)와 한국표준과학연구원(원장 정명세)는 12일 2년간의 연구끝에 세계최고수준의 반도체 초정밀측정기술과 표준시료, 절대측정장비를 개발하는데 성공했으며 이를 세계표준으로 제시할 계획이라고 발표했다.

이번에 개발한 반도체초정밀측정기술은 측정한도가 10나노미터(10억분의 1m)이상이던 기존기술의 한계를 극복해 6나노미터의 초박막까지도 측정할 수 있는 최첨단기술을 비롯 반사율, 표면저항 등 3개분야에 적용할 수 있는 것이다.

2백56메가, 1기가급 반도체생산을 위해서는 초고집적, 초정밀기술이 요구되고 있으나 현재까지 이를 충족할만한 기술표준이 확립되지 않아 삼성과 표준과학연구원이 공동개발한 이 기술이 세계표준으로 받아들여질 가능성이 높아졌다.<김희중 기자>