이번 국책과제는 지식경제부 지원사업으로 신성장동력산업과 자립도가 낮은 장비산업의 균형 발전을 위해 신성장동력 7대분야(반도체, 디스플레이, LED, 그린수송, 바이오, 의료, 방송장비) 장비산업의 기술경쟁력 확보 지원을 목적으로 한다.
쎄미시스코는 반도체 및 디스플레이 생산 전 공정에 해당하는 플라즈마 공정 진단장비인 진공 챔버 리크 진단장비(Smart-HMS)와 유리기판 굴곡 검사장비(EGiS-Wavi)를 세계 최초로 개발 및 상용화하는데 성공했다. 이와 관련된 국내 및 해외 특허 등 지식 재산권만 약 100여 개를 확보 하는 등 기술 기반이 매우 강력한 점을 인정받아 이번 신성장동력장비 경쟁력강화사업의 지원대상으로 선정되었다.
이번 과제는 ‘AMOLED 기판 및 중대형 AMOLED 모듈 측정검사장비 개발’이며, 컨소시엄 형태로 진행된다. 쎄미시스코가 주관기관이며 3개의 참여기관이 같이 수행하게 된다.
이번 과제는 AMOLED용 유리기판의 두께 균일도 검사와 AMOLED용 Flexible 기판의 결함 검출 등에 대한 기술을 개발하여 AMOLED 기판 검사장비의 개발이 최종 목표이다. 가장 중요한 이슈는 대면적 Flexible AMOLED 디스플레이의 양산 수율 때문에 양산과 투자가 미루는 디스플레이 제조업체에게 공정 초기에 양산 수율의 관리가 가능케 하는 검사장비를 개발하는 것이다.
이순종 대표는 “쎄미시스코의 핵심 장비 4종 모두 세계 최초 또는 국내 최초라는 수식어가 붙는다”며, “자체 기술 확보가 기업의 핵심 경쟁력인 만큼 기술 보완, 개발 및 신기술 확보를 꾸준히 추진할 것”이라고 기술 개발에 대한 의지를 밝혔다.
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