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신성솔라에너지, 이중반사방지막 적용 태양전지 제조기술 특허취득

신성솔라에너지는 지난달 초고효율 태양전지 제조기술 특허 취득에 이어 이중반사방지막을 적용하는 태양전지 제조기술 특허와 나노팁을 형성하는 제조기술 특허 2건을 취득했다고 19일 밝혔다. 기존 태양전지 제조과정에서 반사방지막 형성을 위해 실리콘나이트라이드 공정을 단층으로 형성했으나, 이 기술은 실리콘나이트라이드 대신 복층 구조로 이중반사방지막을 형성해 태양전지 표면에서 빛의 반사율을 떨어뜨리는 효과가 있다. 또한 태양전지 기본 구조인 P-N 접합 형성 시 선택적 에미터 구조를 적용하여 n층의 면저항 영역에서 전극부에 해당하는 면저항을 좀 더 낮게 가져감으로써, 단파장 영역에서 빛 에너지의 흡수율을 높이고, 한편으로는 전극과의 접촉저항을 개선하여 전체적인 태양전지의 변환효율 특성을 개선시킬 수 있는 기술이다. 이와 더불어 또 다른 기술은 태양전지의 표면 구조 개선을 위해, 기존의 Wet chemical texturing(습식화학식 텍스쳐링) 방식 대신 Deep Reactive Ion Etching(심도반응성 이온식각) 방식을 이용하여 기판 표면 상에 나노팁을 형성하여 태양전지 표면 반사율을 낮게 해주는 기술이다. 신성솔라에너지 관계자는 “이번 2건의 특허는 고효율 태양전지 연구개발에 적용되어 변환효율 20% 이상의 고효율 태양전지 기술개발을 위한 신성솔라에너지만의 특화된 공정기술”이라며 “앞으로도 태양광 시장에서 업계를 선도할 수 있도록 선진기술개발에 매진할 것이다”고 밝혔다.

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