빛·전자로 동시에 보는 현미경 나왔다

조복래 표준硏 책임연구원, 광·전자 융합현미경 기술 기반 '모듈싸이' 창업

조복래(오른쪽) 표준연 책임연구원이 광전자 융합현미경으로 시료를 관찰하고 있다./사진제공=표준연

정부가 지역 혁신역량 강화와 일자리 창출을 위해 연구소기업 육성에 나선 가운데 한국표준과학연구원에서 ‘스핀 오프’된 신개념 측정검사장비 전문기업이 탄생했다.

표준연은 첨단측정장비연구소의 조복래 책임연구원이 멀티 해상도 이미징을 위한 광전자 융합현미경을 개발·제조하는 ‘모듈싸이’를 창업했다고 27일 밝혔다.

현미경은 크게 가시광선을 사용하는 광학현미경과 전자 빔을 사용하는 전자현미경으로 구분된다. 광학현미경은 컬러 이미지 및 3차원 정보를 볼 수 있지만 마이크로미터(μm) 미만의 해상도를 제공하지 않는다. 또한 전자현미경은 나노미터(nm)급의 고해상도 정보를 통해 원소단위의 정보를 알 수 있지만 이미지가 흑백이라는 단점이 있다.

모듈싸이는 개별 플랫폼인 광학현미경과 전자현미경을 하나로 통합하는 ‘광전자 융합현미경’ 기술을 기반으로 설립됐다. 세계 최초로 개발된 융합현미경은 광학과 전자 다른 두 종류의 대물렌즈를 융합한 조복래 박사팀이 원천기술을 가지고 있다. 조 박사팀은 렌즈의 형태를 간섭하지 않는 형태로 재설계해 물리적 제약을 극복하는 한편 전자제어계와 소프트웨어 등의 필수요소까지 통합, 빛과 전자로 동시에 관찰하는 현미경을 개발했다.



조 책임연구원은 “광전자 융합현미경은 특히 반도체나 디스플레이 공정에서 불량품을 검출하는 데 효과적으로 사용할 수 있다”면서 “광학 파트를 통해 마이크로 수준에서 결함이 의심되는 곳을 컬러로 파악한 후 동시에 전자 파트로 나노 수준까지 성분을 정밀 관찰한다면 검출의 정확도를 향상시키고 소요시간을 크게 단축할 수 있다”고 설명했다.

모듈싸이는 앞으로 반도체·디스플레이 등 전자업계의 공정용 측정검사장비에 대한 개발 및 라이센싱을 진행하고, 장기적으로는 제품의 다양화와 소형화를 통해 바이오 물질의 실시간 검사를 필요로 하는 의료업계까지 사업 범위를 점차 확대할 계획이다. 박상열 표준연 원장은 “앞으로도 다양한 창업기업을 배출해 표준연의 원천 측정기술을 산업계에 널리 전파할 수 있도록 노력하겠다”라고 말했다.

/성행경기자 [e-mail]

조복래 표준연 책임연구원