북방화창(北方華創)은 중국 베이징시 소속 지방 국유기업으로 중국 로컬 반도체 장비 1위다. 중국 시장에서 매출의 95%가 나오고 있다. 반도체 장비 중 실리콘·금속 식각장비에 주력하고 있다. 지난 2018년에는 중국 업체 중 처음으로 12인치 14나노미터(nm) 핀펫 실리콘 플라즈마 식각장비 자체 개발에 성공했다.
2013~2018년 중국에서 반도체 장비 매출은 연평균 31%씩 성장했다. 글로벌 반도체 장비 시장에서 중국이 차지하는 비중은 2013년 11%에서 2018년 20%로 커졌다. 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 2020년 중국 현지 웨어퍼공장의 자본지출은 240억달러(약 28조4,700억원)며 반도체 장비 구매액은 145억달러(약 17조2,000억원) 수준이다. 2019~2023년 장강메모리·허페이장씬·자광메모리 등의 반도체 장비 투자규모는 500억달러(약 59조3,300억원)에 달할 전망이다. 향후 장강메모리·허페이장씬이 양산을 시작하면 중국산 반도체 장비에 대한 수요도 늘어날 것이다. 중국의 반도체 장비 국산화율은 현재 13%에 불과하다.
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북방화창은 지난해 1월 반도체 장비 생산능력 확충을 목적으로 하는 ‘첨단 집적회로 장비 연구개발(R&D) 및 산업화 프로젝트’를 위해 유상증자로 21억위안(약 3,808억원)을 조달했다. 이 프로젝트에는 △28nm 이하 공정의 반도체 장비를 위한 산업화 공정 검증환경 구축 및 산업화 실현 △집적회로장비혁신센터 건설과 5·7nm 공정 핵심 테스트 장비 구입 및 테스트 검증 플랫폼 구축 △5·7nm 공정 핵심 집적회로 장비 연구개발 및 산업화 응용이 포함된다. 향후 생산 라인이 풀가동될 때 연평균 매출 26억4,000만위안(약 4,531억원)의 경제적 효과가 예상된다.
장기적으로는 글로벌 반도체 장비 선두기업인 어플라이드머티리얼스(AMAT)를 벤치마킹 대상으로 고려해볼 수 있다. 화학기상증착(CVD)·물리기상증착(PVD)·식각·세척 장비 등에서 강점을 가진 AMAT처럼 북방화창도 CVD·PVD·세정 장비, 산화로, 질량유량제어기기(MFC) 등 다양한 라인업을 갖고 있다.
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