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듀폰, 천안서 CMP패드 생산 속도…日업체는 EUV 설비투자 확대

■심층분석 [美日 소부장 기업, 한국에 집결]

삼성·SK하이닉스 밀착지원 움직임

스미토모, 자회사 동우화인켐 통해

포토레지스트 생산설비 투자키로

TOK는 송도 라인에 설비 구축 등

국내 소부장 매출 신장에도 긍정적





글로벌 반도체·디스플레이 소재·부품·장비(소부장) 기업들이 한국으로 집결하고 있다. 세계적인 반도체 제조사인 삼성전자와 SK하이닉스를 밀착 지원하기 위한 움직임으로 풀이된다. 미중 갈등으로 인해 글로벌 가치사슬(GVC)이 개편되면서 확실한 협력 회사의 국가에서 공장을 짓거나 기존 공장을 증설하는 것이다. 한일 간에는 수출 규제 등 무역 분쟁이 있는 점도 이들 글로벌 회사들의 결정에 영향을 주고 있다.

美 듀폰, 신규 생산 설비 구축 박차

7일 업계에 따르면 세계적인 화학 기업 듀폰이 자사 천안공장에서 반도체 화학적 기계연마(CMP) 패드 신규 생산 설비 구축 작업에 박차를 가하고 있다. 최근 듀폰의 전자&이미징 그룹 반도체 사업부를 총괄하는 강상호 사장이 지난달 천안공장을 찾은 것으로 알려졌다. 지난해부터 시작된 CMP 패드 생산 라인 구축 프로젝트 진행 상황을 면밀히 점검하고 공장 가동에 속도를 올리기 위한 방문으로 풀이된다.

강 사장은 자신의 소셜네트워크서비스(SNS)에 듀폰 천안공장을 방문한 사실을 공개하며 “우리는 세계 시장에서 CMP 패드 생산능력을 확장해 각 지역 고객사를 더 밀접하게 대응할 것”이라며 “설비 확장 프로젝트를 진행한 천안·대만 팀에 감사하다”고 전했다. CMP 패드는 웨이퍼에 씌워진 박막을 평평하게 만드는 CMP 공정에서 반드시 필요한 소재다. 전자&이미징 분야에서 연 4조 4,000억 원 매출 규모의 듀폰은 이 분야에서 80% 이상 점유율로 세계 1위를 차지한 업체다.

日·獨 등도 거센 현지화 바람

듀폰 외에도 미국 램리서치, 일본 스미토모화학, 도쿄오카공업(TOK), 독일 머크 등 글로벌 소부장 회사들이 국내 생산 및 연구개발(R&D) 역량을 키우는 등 현지화 바람이 거세게 일고 있다.



세계적인 소부장 업체의 생산 및 R&D 현지화는 지난 2019년 일본의 대한국 수출 규제 사태 이후로 상당히 활발해졌다. 삼성전자와 SK하이닉스는 불화수소 국산화, EUV 포토레지스트 우회 수입 등을 추진하며 위기를 모면했다. 양사는 글로벌 주요 협력사들에 생산 기지 및 R&D 설비 현지화를 적극 권유하며 공급망 재편에 공을 들이고 있다. 그 이후 가시적 성과가 연이어 나타나고 있다. 듀폰은 천안에 CMP 패드 생산 라인 외에도 일본 회사들이 90% 이상의 점유율을 확보한 EUV 포토레지스트 생산을 준비하고 있다.

일본 포토레지스트 회사들의 생산 현지화도 가파르다. 스미토모화학은 불화아르곤(ArF) 포토레지스트 생산 설비를 자회사 동우화인켐을 통해 투자하기로 했고 도쿄오카공업은 인천 송도 라인에 EUV·ArF 포토레지스트 설비를 구축해 국내 고객사에 대응한다.

일본 CMP 슬러리 강자 히타치화학을 인수한 쇼와덴코는 삼성전자와 미국 글로벌파운드리를 거친 소재 전문가 한자형 부사장을 영입하고 국내 생산능력 확장에 속도를 올리고 있다. 지난해 평택 R&D 센터 가동을 시작한 독일 머크도 국내 고객사 맞춤 CMP 슬러리 개발 및 양산에 공을 들이고 있다.

삼성·SK의 공급망 안정화에 도움

램리서치 등 굵직한 반도체 장비업체들의 국내 R&D 설비 투자는 물론 반도체 장비에 들어가는 핵심 부품 R&D 현지화도 이뤄지고 있다. 반도체 장비 부품 세계 1위 업체 MKS의 국내 거점인 MKS PSA는 최근 대전광역시 내 R&D 설비를 2배 확장하고 대전의 우수한 R&D 인프라를 적극 활용할 예정이다.

글로벌 소부장 업체의 현지화 러시는 세계 반도체 패권 다툼이 치열하게 벌어지는 현재 상황에서 삼성전자·SK하이닉스의 공급망 안정화에 적지 않은 도움이 될 것으로 예상된다. 또 해외 업체의 인프라 구축으로 국내에 새롭게 형성될 공급망은 토종 소부장 업체가 성장할 수 있는 발판이 될 수 있어 업계 전반에 긍정적 영향을 미칠 수 있다. 안기현 한국반도체산업협회 전무는 “글로벌 소부장 업체들은 삼성전자·SK하이닉스의 최첨단 칩 제조 기술을 근거리에서 지원하면서 각자 역량을 발전시킬 수 있고 국내 소재·부품업체들도 이들 공급망에 포함되면서 매출 및 기술 수준 성장을 모색할 수 있다”고 설명했다.
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