코로나19와 같은 팬데믹이 또다시 닥쳐와도 흔들리지 않는 반도체 공급망을 한반도 중심에 구축하려는 ‘K-반도체 벨트’ 계획이 하나씩 물꼬를 트고 있다. 지난 5월 문재인 대통령이 경기도 평택 삼성전자(005930) 사업장을 방문해 시스템 반도체 산업을 적극 육성하고, 경기도 화성과 용인 등에 소재·부품·장비가 결합된 종합 반도체 생산기지를 완성하겠다고 공언한 지 6개월 만이다.
1일 관련업계에 따르면, 세계에서 유일하게 10나노미터 이하 웨이퍼 생산공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비를 공급하고 있는 ASML은 동탄 일반산업단지 내 경기도 화성시 682-2 등 부지를 매입하고 엔지니어를 위한 트레이닝센터와 재제조센터를 설립한다. 연내 착공하고 오는 2024년말 준공 예정인 센터는 별도로 만든 클린룸에서 EUV·DUV 장비 운전연습을 포함한 포괄적인 교육을 한국 엔지니어들에 제공할 예정이다. 업계 관계자는 이에 대해 “다루기 까다로운 EUV 장비를 설치하고 정비할 때 즉각적인 대응이 가능해질 것”라며 “엔지니어들이 장비 운전법을 배우기 위해 네덜란드나 대만으로 떠날 필요가 없게 돼 시간·비용을 크게 절약할 뿐 아니라, 예전보다 많은 엔지니어들이 노하우를 갖출 수 있게 될 전망”이라고 기대했다.
ASML은 세계적인 반도체 노광장비 업체다. 정부가 올 상반기에 발표한 K-반도체 벨트 조성계획에서 핵심 축을 맡고 있는 첨단장비 분야 외국인투자기업이기도 하다. 반도체 노광이란 동그란 웨이퍼 위에 빛으로 회로 모양을 반복적으로 찍어내는 기술을 뜻한다. 특히 최근에는 회로 선폭이 7나노미터(㎚·10억분의 1m) 이하로 좁아지면서 파장이 짧은 빛으로 더욱 미세하게 회로를 찍어내야 하는 상황에 이르렀다. 그러나 세계에서 EUV 노광장비의 원천 기술을 확보하고 있는 곳은 네덜란드에 본사를 두고 있는 ASML 단 한 곳이다. 이 때문에 삼성전자, SK하이닉스(000660), 인텔, TSMC 등 내로라하는 반도체 제조사들이 초미세 공정 기술의 고도화와 더 나아가 기업 생존을 위해 ASML의 장비를 손에 넣기 위해 노력하고 있다. 세계 반도체 위탁생산(파운드리) 1위 기업인 TSMC는 지난 2017년 ASML의 EUV 노광장비를 처음 구입한 이래, 막대한 설비투자를 거듭하며 3년 만에 세계에서 가장 많은 EUV 장비(80대)를 보유한 회사가 됐다. 이를 바탕으로 TSMC는 초미세 반도체 위탁생산을 요청하는 글로벌 고객사에 소구하고 있다. 이에 질세라 삼성전자도 지금까지 EUV 노광장비를 35대 정도 확보하고, 내년 상반기에 세계 최초로 3㎚ 반도체 양산계획을 밝힌 상태다. SK하이닉스는 올해부터 5년간 4조7,500억원을 투입해 20대를 확보하기로 한 상태다.
이번 투자 결정으로 ASML은 대만과 미국에 이어 한국에도 대규모 지원시설을 보유하게 됐다. 앞서 ASML은 2020년 대만 타이난에 EUV 트레이닝 센터를 구축해 TSMC를 지원해왔다. 올해 8월에는 반도체 전문인력들이 모여있는 미국 실리콘밸리에 1만9,000여㎡(6,000여평) 규모의 대규모 연구개발(R&D)센터와 장비 시험가동을 위한 클린룸을 짓고, 삼성전자나 인텔 등 글로벌 고객사 지원에 나섰다.
한편, 올 상반기 정부가 발표한 ‘K-반도체 벨트’ 5대 계획 가운데 ‘파운드리 증설’과 ‘외투기업 유치 확대’ 계획에 속도가 붙고 있다. 당시 ASML과 함께 한국 투자를 확대하겠다 밝힌 미국 반도체 장비 램리서치는 최근 경기 화성시에 제3공장을 짓고 생산 능력을 2배로 높였다.
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