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탑엔지니어링, LED MOCVD 국내 공급 개시

탑엔지니어링이 LED생산용 핵심장비인 MOCVD(유기금속화학증착장비) 개발을 완료하고 산업기술대학교에 장비를 첫 공급한다고 29일 밝혔다.

MOCVD는 사파이어웨이퍼에 단결정 폴리실리콘막을 증착시켜 LED의 주 재료인 에피웨이퍼를 만드는데 사용되는 장비로, 핵심 제조 공정에도 불구 지금까지 독일의 액시트론(Axitron)과 미국의 비코(Veeco) 두 회사만이 독점적으로 공급해 왔다. MOCVD는 LED 공정에 들어가는 전체 장비 투자액 가운데 절반가량을 차지하는 장비이다.

특히 이번 공급 장비는 UV LED칩 제조에 사용되는 UV용 MOCVD이며 2인치 사파이어웨이퍼 6장을 담을 수 있는 장비이다. UV용 MOCVD 개발 및 공급은 국내에서는 처음으로 이루어진 것이며 탑엔지니어링은 대학, 연구기관들에 추가 납품을 협의 중에 있어 공급확대를 예상하고 있다.

UV-LED는 위폐 감별기 및 기타 바이오/의료기기 용도로 많이 쓰이고 있으며 올해 UV-LED를 사용한 정화 시스템이 상용화 될 것으로 예상 되면서 UV-LED 시장은 더욱더 확대 될 것으로 기대 된다.



탑엔지니어링은 2010년 LED 생산 핵심장비인 MOCVD 개발을 완료하였으며 지속적인 연구개발로 고온공정이수반되는 UV LED에 대응할수 있는 특수 MOCVD의 개발을 2012년 초에 완료했다.

이번 공급을 통해서 탑엔지니어링은 기존 LED 생산 패키징 장비(Die Bonder, LED Dispenser, Taping Machine등) 뿐만 아니라 핵심공정인 MOCVD, Etcher, PECVD 공급이 가능해 LED 장비 토탈 솔루션을 제공할 수 있는 환경을 갖추게 되었다.

현재 LED 업황부진이 계속 되면서 국내 LED칩 제조 업체의 신규 장비 투자지연에도 불구, 탑엔지니어링은 LED 투자가 이루어지고 있는 중국 LED 업체들과 지속적으로 접촉 중이며 수익성이 높은 신형 LED 장비의 개발을 통해 LED 장비 시장에서 경쟁력을 확보한다는 방침이다.
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