이한보람씨 한국반도체 학술대회 삼성상 수상

포스텍 박사과정

포스텍은 신소재공학과 박사 과정에 재학 중인 이한보람(28)씨가 제15회 한국반도체 학술대회에서 우수 논문 기업체상(삼성상)을 수상했다고 12일 밝혔다.

이씨는 포항나노집적센터의 초고성능 스캐닝 투과 전자현미경을 활용해 ‘플라즈마 질화법을 이용한 에피택시(PNMEㆍPlasma Nitridation Mediated Epitaxy)’ 방법으로 원자단위까지 잘 정렬된 ‘에피택셜 코발트 실리사이드’를 형성하는 기술을 발표했다. 이씨는 지난해 11월에도 금속 원자층박막증착법으로 증착된 코발트 초기박막의 핵 생성 및 성장을 분석한 논문으로 미국 재료학회에서 최우수 포스터 논문상을 수상했다.