현대전자, 0.09㎛ 반도체용 감광제 양산

현대전자, 0.09㎛ 반도체용 감광제 양산현대전자는 ㈜동진쎄미켐과 공동으로 0.09㎛(1㎛은 100만분의 1㎙)의 초미세 회로선폭 공정을 가능하게 하는 아르곤 플로라이드 감광제 양산에 성공했다고 12일 밝혔다.

아르곤 플로라이드 감광제는 반도체 원재료인 웨이퍼에 회로를 형성시키는 데 사용되는 물질로 기존 감광제는 0.13㎛ 회로 형성까지 가능했다.

현대전자는 이번에 개발한 감광제가 1ℓ당 300만원 정도의 고가품으로 오는 2006년에는 전세계 시장규모가 10억달러 이상으로 확대될 것으로 예상된다고 밝혔다.

현대전자는 지난해 스위스 클라리언트사에 플로라이드 감광제 기술을 수출했다.

입력시간 2000/06/12 20:30

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