나노종합기술원은 반도체 테스트베드 기반의 소부장 서비스 영역 확대, 시스템반도체 지원역량 강화를 위해 삼성에서 보유한 12인치 반도체 장비 3대를 나노팹에 이전 설치한다고 29일 밝혔다.
올해 삼성에서 이전하는 장비는 300㎜ 금속박막 증착 스퍼터링(Sputtering), 실리콘 산화막 및 질화막 식각장비, 폴리실리콘 식각장비 등 3대로 다중쳄버로 구성돼 있다. 다양한 소재, 부품, 장비 개발 및 실증테스트, 기존 200㎜ 공정장비와 연계한 300㎜ 수준의 차세대 시스템반도체 개발에 활용할 계획이다.
기술원은 지난 2021년 3월 국내 최초로 12인치 반도체 소부장 테스트베드를 구축, 관련 기업과 연구기관 등에 양산단계의 기술개발 및 실증 성능평가 서비스를 제공하고 있다.
현재 구축된 테스트베드 장비는 일부 소재 중심으로 성능평가를 지원하고 있어 보다 다양한 소재와 부품·장비 국산화 개발 지원을 위해서는 추가적인 장비 확보가 필요한 상황이었다.
특히 최근 반도체 소재, 부품, 장비개발은 기술의 수준 및 특성상 단독적인 개발보다 특정 공정과 장비플랫폼 선상에서 상호 연계된 개발과 평가과정이 필요하게 됐고 반도체 장비는 부품의 조합으로 국내 개발 부품의 신뢰성과 한계성을 극복하기 위해서는 다양한 부품과 장비간 지속적인 협업과 피드백을 지원할 전용장비 구축이 매우 필요한 것으로 기술원은 판단하고 자체적으로 대기업 등의 장비확보를 추진해왔다.
이에 앞서 기술원은 테스트베드 구축 과정에서 핵심장비인 ArF Immersion Scanner(12인치 노광장비)가 부재한 장비시장 상황에서 삼성의 적극적인 보유장비 매각 이전 지원으로 테스트베드를 조기 구축할 수 있었다.
이후 삼성과 기술원은 반도체 소부장 생태계 조성과 상생협력 및 사회적 기여 등 긴밀한 협력을 위해 삼성에서 보유한 가용장비를 공공나노팹 시설에 저가 이전할 수 있도록 협의했고 2021년 3대, 2022년 3대 등 테스트베드 및 중소기업에서 필요한 장비를 이전했다.
기술원은 삼성의 보유설비 이전을 계기로 소부장 테스트베드 장비 확충 및 고도화를 통해 차세대 선행기술개발, 시제품제작 및 성능평가 등 신뢰성 있는 실증데이터를 제공함으로써 종합반도체 대기업-중소기업, 공공 테스트베드간 긴밀한 연계협력 생태계 기반 구축을 적극 추진해 나갈 예정이다.
이조원 나노종합기술원장은 “최근 반도체 장비가격 급등, 납기지연 등으로 장비확보가 어려운 상황에서 보유장비 이전을 결정해주신 삼성에 감사드린다”며 “소부장 관련 기업이 필요로 하는 장비 및 공정기술 플랫폼 고도화와 개발 결과물이 수요기업에 신속히 적용될 수 있도록 대기업 등 관련기업과의 연계 협력을 강화해 소부장 기술자립을 앞당길 수 있도록 노력해 나갈 것”이라고 밝혔다.
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