KLA, 첨단 메모리 계측 장비 '엑시온 T2000' 출시…“독자 엑스레이 기술 활용”

3D 낸드·첨단 D램 계측 장비…독자 엑스레이 활용

3차원 분석 기술로 미세 회로 구석구석 측정

세계적인 반도체 장비 회사 KLA가 첨단 메모리 반도체 제조를 위한 계측 장비인 '엑시온(Axion) T2000을 출시했다고 12일 밝혔다.

엑시온 T2000은 3D 낸드플래시, D램 등 메모리 반도체를 제조할 때 요긴하게 활용할 수 있는 장비다. 200단 이상의 3D 낸드플래시나 초미세 D램 제조 시 형성되는 좁고 깊은 회로의 불량 여부를 정확하게 측정할 수 있기 때문이다.



KLA는 엑시온 T2000에 독자 개발한 엑스레이 기술을 탑재했다. 이 엑스레이로 평면 사진 뿐만 아니라 3차원 분석 영상까지 구현할 수 있어 회로 구석구석을 입체적이고 세밀하게 측정할 수 있다.

신규 알고리즘인 '어큐세이프'도 적용했다. 반도체 웨이퍼에 충격을 주지 않고도 각종 계측 데이터를 생성할 수 있어서 생산성을 올릴 수 있다.

아흐마드 칸 KLA 반도체 공정 제어 사업부 대표는 "신규 장비는 3D 낸드와 D램 메모리 제조 공정을 위한 게임 체인저"라며 "메모리 반도체 칩 대량 생산 중 발생하는 오류를 해결하고 제조 시간을 단축할 수 있다"고 밝혔다.