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[공시] 테스, 반도체 제조장비 관련 특허권 취득
입력2010-12-10 13:43:11
수정
2010.12.10 13:43:11
테스는 반도체 제조장비 및 이를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 방법과 관련해 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.
회사에 따르면 이 발명은 채널을 여러 개로 하기 때문에 공정 중 기판 온도변화가 필요할 때 채널의 선택적 사용으로 보다 유연하게 대처할 수 있다.
회사 측은 이번 특허를 장비 제조 및 개발에 활용해 기술경쟁력 및 원가경쟁력을 향상시킬 계획이다.
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