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세미텍, 다이 이젝팅장치 특허권 취득

세미텍은 다이본딩장비의 다이 이젝팅장치와 관련해 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.

이번 발명은 균일하게 사방으로 형성된 튜브형 관통홀이 형성된 이젝트돔과 자석판을 갖는 핀홀더를 포함해 구성되는 다이본딩장비의 다이 이젝팅장치에 관한 것이라고 회사 측은 설명했다.

세미텍은 또 탱크 자동변환기가 구비된 이산화탄소 버블러와 관련해서도 특허권을 취득했다.



이 발명은 웨이퍼에 형성된 수많은 칩을 분리하기 위해 휠을 이용해 절단하는 웨이퍼 소잉공정에 사용되는 탱크 자동변환기가 구비된 이산화탄소 버블러에 관한 것이다.

회사 측은 두 개의 특허권을 반도체 패키지 생산라인에 적용에 활용할 방침이다.
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