정부가 반도체 제조업 환경 관련 규제 개선에 나선다.
환경부와 화학물질안전원은 ‘반도체 제조업종 유해화학물질 취급시설 설치 및 관리에 관한 고시’를 제정했다고 14일 밝혔다. 해당 고시는 반도체 제조업 관련 제조설비를 완성된 상태로 외국에서 들여올 경우 유해화학물질 취급시설 기준을 달리 적용하는 것을 골자로 한다.
일반적으로 반도체 제조업체가 사용하는 생산설비는 캐비닛 형태 완제품이나 모듈로 제작돼 공장에 설치된다. 지금까지는 유해화학물질 취급시설 기준준수 및 안전장치 설치 등을 위해 해당 설비를 검사할 경우 제조설비를 임의로 분해해야 했다.
반면 이번에 시행되는 고시는 화학물질관리법이 규정한 제작요구서를 첨부해 국제인증을 받은 완제품 형태의 생산설비의 경우 같은 법상 시설 기준을 준수한 것으로 인정토록 했다. 또 설비 내 유해화학물질 누출을 감시하고 차단·처리할 수 있는 장치가 있을 경우 기존 취급시설 기준에 따른 안전장치를 갖춘 것으로 간주토록 했다. 안전장치를 갖추고 소량의 유해화학물질을 취급하는 설비는 설비 내 밀폐공간을 유해화학물질 소량 취급시설 기준상 ‘물리적 분리 공간’으로 인정토록 했다. 이번에 해당 고시가 적용되는 분야는 ‘전자집적회로 제조업’과 ‘다이오드·트랜지스터 및 유사 반도체소자 제조업’이다. 환경부 관계자는 “맞춤형 유해화학물질 취급시설 기준이 필요한 업종이 더 있을 것으로 보고 내년 상반기 중 업계를 대상으로 수요를 조사할 예정”이라고 밝혔다.
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