와이즈파워, 웨이퍼 생산공정 美 특허… 고출력 LED칩 가능

와이즈파워는 계열사인 그랜드텍이 개발한 고휘도ㆍ고효율 LED의 핵심소자인 질화갈륨 웨이퍼 생산공정 기술에 대한 미국 특허를 획득했다고 17일 밝혔다.

이번에 특허를 획득한 장비는 LED칩의 성능을 좌우하는 박막형성 관련 기술로 박막층의 원료가 되는 질화갈륨(GaN)과 기판 사이에 '나노로드'라는 일종의 완충작용을 하는 층을 만들어 박막층에 물리적 결함이 생기는 문제를 해결한 장비다. 나노로드를 이용하면 기판의 균열이나 휘어짐 없이 질화갈륨 박막을 필요한 만큼 형성할 수 있으며 이에 따라 수명이 길고 출력이 높은 LED칩을 생산할 수 있다는 것이 회사측 설명이다.