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금호석유화학, 반도체공정재료 공장 준공

금호석유화학은 충남 아산에 반도체 공정재료인 현상액 및 박리제 공장과 포토레지스트 시험설비를 완공했다고 27일 밝혔다. 금호석유화학이 일본 나가세산업과 공동으로 지난 4월 1만1천평 부지에 1백억원을 투자, 완공한 이 공장의 현상액 및 박리제 생산규모는 연간 2천4백t이다. 포토레지스터는 반도체 웨이퍼상에 미세회로의 패턴을 형성할 수 있도록 하는 노광공정의 핵심재료로 현재 국내수요의 90% 이상을 수입에 의존하고 있다. 노광공정에서 사용된 포토레지스터를 현상할 때 사용하는 현상액과 식각공정 후남아 있는 잔류물의 제거용 박리제 역시 수입의존도가 높았으나 아산공장 준공으로 연간 1천억원 이상의 수입대체 효과를 거둘 수 있게 됐다고 금호석유화학은 설명했다.

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