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탑엔지니어링 LED 장비사업 본격화

美 BMR사 기술도입 통해

TFT-LCD 공정장비 전문업체인 탑엔지니어링이 미국 LED 장비업체의 기술도입을 통해 LED 장비사업에 본격적으로 뛰어들었다. 탑엔지니어링은 파주사업장에서 미국 LED 장비업체 비엠알(BMR)과 기술도입 조인식을 갖고 특허권ㆍ인원 등 비엠알이 보유한 기술도입을 실시한다고 16일 밝혔다. 비엠알은 한국계 미국 LED 장비업체로 플라즈마화학증착장비(PECVD), 건식식각장비(드라이에처) 등 주요 LED 장비의 핵심기술을 보유하고 있다. 플라즈마화학증착장비는 LED 기판 위에 분자 또는 원자 단위 물질을 박막 형태로 형성시키는 전공정 핵심장비이고, 건식식각장비는 LED 기판을 에칭하여 패턴을 형성함으로써 효율을 향상시키는 핵심 공정 장비이다. 탑엔지니어링은 이번 기술도입을 통해 2007년부터 준비해온 LED 장비사업을 한층 더 강화하게 됐으며, 구체적인 LED 관련 수주를 위해 고객사와 협의를 벌이고 있다고 밝혔다. 탑엔지니어링은 지난해부터 산학협력으로 LED 검사장비를 공동개발하고 있으며, 기존 LCD 디스펜서, 반도체 장비 등 회사가 보유한 장비기술을 바탕으로 LED 장비 연구개발에 박차를 가하겠다는 방침이다. 이를 통해 탑엔지니어링은 총괄적인 LED 장비사업을 추진, 향후 LED 생산라인의 주요 장비를 턴키방식으로 공급할 계획을 가지고 있다. 김원남 탑엔지니어링 사장은 "이번 비엠알과의 기술도입 조인식을 통해 LED 장비사업 추진의 본격적인 전기를 마련했다"며 "일본 알박 등 세계시장을 점유하고 있는 LED 장비업체들을 기술력으로 앞설 자신이 있다"고 말했다.

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